
产品名称:半导体封装制程晶圆芯片保护治具FCT功能检测治具
隶属行业:专用设备企业大黄页
隶属地区:广东企业
在半导体封装全流程中,晶圆与芯片的流转防护始终是决定最终良率的核心环节,哪怕微米级的磕碰、毫微克级的微粒污染,都可能导致整片晶圆报废,给企业带来高额损失。路登科技推出的半导体封装制程晶圆芯片保护治具,正是针对这一行业痛点打造的全链路防护解决方案。
这款治具核心接触部位采用高纯防静电PEEK基材精密加工而成,完全满足半导体Class 1级洁净管控标准,在晶圆移栽、对位、封装的全接触过程中,不会出现掉粉、起屑问题,金属离子与有机挥发物含量远低于行业管控阈值,从源头杜绝微粒附着晶圆电路引发的良率缺陷。其稳定可控的防静电泄放性能,可平缓导出治具贴合、移栽过程中积聚的静电电荷,阻断静电传导路径,有效保护晶圆上的微细线路不被静电击穿,彻底规避静电带来的隐性损伤。
治具采用柔性周向限位结构设计,多组自适应弹性侧挡从晶圆四周同步贴合夹持,完全摒弃传统硬接触式搬运的刚性碰撞风险,放取晶圆全程无硬刮擦,哪怕是超薄Mini LED晶圆、第三代半导体SiC晶圆,也能实现无损转移。搭载纳米级弹簧探针与压力传感器联动系统,可自动补偿0.1-0.5mm的晶圆厚度差异,适配6英寸、8英寸、12英寸等多规格晶圆,无需频繁更换工装,磁吸式快拆模组支持5秒完成部件更换,大幅压缩产线切换时间。
在芯片烧结、塑封、固化等高温封装工序中,治具选用高纯细晶石墨作为承载主体,其超低热膨胀系数让治具在-50℃至400℃宽温域反复冷热循环下,始终保持精准定位尺寸,不会因形变导致芯片偏移、封装不均。天然自润滑特性让芯片脱模顺畅不卡料,全程无划痕、无崩边,完美保护0201、0402微型元件的外观与结构完整性。






