产品名称：PEEK电子半导体零部件真空治具CPO共封装治具
隶属行业：专用设备企业大黄页
隶属地区：广东企业
在半导体制造的高洁净真空制程中，治具的材料性能直接决定了晶圆加工的良率上限。路登电子推出的PEEK电子半导体零部件真空治具，专为应对严苛的半导体真空环境量身打造。
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在半导体制造的高洁净真空制程中，治具的材料性能直接决定了晶圆加工的良率上限。路登电子推出的PEEK电子半导体零部件真空治具，专为应对严苛的半导体真空环境量身打造。
这款治具采用半导体无尘级纯PEEK原料一体精密加工，全程在Class1000无尘车间完成生产包装，无无机填料添加，重金属离子析出量低于1ppb，从源头杜绝晶圆电路被金属离子污染的风险，完全适配先进制程芯片的生产要求。在10⁻⁷Pa的高真空250℃高温环境下，治具的总有机挥发物释放率极低，不会在晶圆表面形成有机颗粒残留，彻底避免光刻、镀膜环节的工艺缺陷。
治具的吸水率仅0.02%，长期在真空腔体中使用不会释放水汽，大幅减少腔体除气频次，有效保障真空度稳定。其线膨胀系数远低于普通工程塑料，常温至200℃的冷热循环工况下，治具尺寸漂移量控制在±0.01mm以内，晶圆定位精度始终稳定，不会出现卡滞、偏移等问题。
在晶圆吸嘴载具、真空夹具等核心半导体零部件场景中，这款PEEK真空治具可长期耐受各类半导体强腐蚀化学品，使用寿命远超传统PTFE材质治具，为先进半导体制造的高可靠运行筑牢关键工装支撑。
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