
产品名称:晶圆框架盒铝合金半导体承载用具芯片晶圆防翘曲碎裂料盒
产品型号:晶圆框架盒
产品产地:广东企业
在半导体晶圆切割、减薄与封装测试的全工序流转中,经过减薄处理的超薄晶圆、切割后分立的Die对振动、碰撞、颗粒污染的敏感度达到极致,东莞路登有限公司推出的晶圆框架盒,正是为这类高价值半导体载体打造的全场景高可靠载具。
这款晶圆框架盒从设计之初就完全对齐SEMI国际行业标准,核心结构采用高洁净抗静电工程树脂一体注塑成型,材料经过严苛的低离子析出、低挥发物验证,在ISO Class 1级洁净环境中循环使用,不会产生额外的颗粒污染,完全避免传统塑料载具常见的离子析出污染晶圆表面的问题。
盒体内部设置多组垂直独立槽位,槽位间距与定位精度控制在±0.03mm以内,每一片固定在铁环上的晶圆框架都能被独立隔离限位,槽道内增设的柔性缓冲硅胶条,可大幅降低转运过程中的振动传递,即便经过减薄至50μm以下的超薄晶圆,也不会因轻微晃动出现崩边、裂纹,良率保障能力远超普通周转盒。
针对晶圆制造自动化产线的适配需求,这款晶圆框架盒的外部尺寸、定位孔位完全兼容主流晶圆切割机、减薄机、固晶机的上下料机构,无需额外改造治具,机械手可直接完成整盒取放与自动上下料,全程无需人工接触晶圆框架,彻底消除人为操作带来的污染与损伤风险。部分型号还预留了RFID芯片安装槽,可直接接入产线的智能追溯系统,实现晶圆批次、工序节点、流转路径的全链路可视化追踪。
目前这款晶圆框架盒已形成覆盖6英寸、8英寸、12英寸全系列规格,支持10片、20片、25片不同装载容量定制,可适配晶圆切割、晶圆减薄、晶圆级封装、先进封装测试等几乎所有核心工序场景。在国内多家IDM与OSAT厂商的长期应用中,导入东莞路登这款晶圆框架盒后,晶圆转运过程中的崩边损伤率下降92%,工序间物料周转效率提升35%,同时大幅降低了载具的综合使用成本,成为先进半导体产线中兼顾高性能与高性价比的核心洁净载具选择。






