
产品名称:东莞晶圆点胶真空治具汽车车灯涂覆点胶治具
产品型号:晶圆点胶真空治具
产品产地:广东企业
在半导体封装领域,0.01mm的胶体偏差可能导致产品失效。传统机械夹持治具易造成晶圆微裂纹、胶体溢流等问题,而东莞路登科技自主研发的第三代晶圆点胶真空治具,通过多腔体负压吸附系统,实现全域吸附力动态均衡,消除物理接触损伤风险。
破局晶圆封装痛点,真空治具工艺革新
在半导体封装领域,0.01mm的胶体偏差可能导致产品失效。传统机械夹持治具易造成晶圆微裂纹、胶体溢流等问题,而东莞路登科技自主研发的第三代晶圆点胶真空治具,通过多腔体负压吸附系统,实现全域吸附力动态均衡,消除物理接触损伤风险。
三大核心优势直击行业需求
纳米级定位精度
采用航空级陶瓷基板与激光微孔阵列技术,吸附孔位密度达200孔/cm2,配合智能气压反馈模块,确保晶圆在高速点胶过程中位移量<3μm,满足5nm制程工艺要求。复合材质兼容性
温控吸附平台(-30℃~150℃可调)可适配硅片、碳化硅、玻璃基板等不同材质,解决异质晶圆封装时的热变形难题。实测显示,在GaN器件封装中良品率提升27%。智能化生产集成
内置工业4.0标准接口,支持与ASM、KUKA等主流点胶设备无缝对接。通过云端数据分析系统,可实时监控吸附压力曲线,自动生成工艺优化建议。
客户见证:从实验室到量产线的价值跃迁
某头部存储芯片厂商采用本治具后:
点胶工序工时缩短40%(原8分钟/片→4.8分钟/片)
因胶体偏差导致的报废率从1.2%降至0.03%
兼容12英寸晶圆全自动生产线改造,周期<6个月
